列表 项目 配置参数或者品牌型号
主体框架(机架+大理石等) 山东高唐
控制器 AT420
光栅尺 RUS金属光栅尺 0.5UM
电机+驱动器 X 禾川200W
Y禾川200W
Z禾川200W
导轨 GV9 富杰
相机 130万,选配200万
镜头 PMS手动(选配自动)
光源(环光+底光) 3环8区(选配5环8区)
光源控制器 AT420自带有协议
其他可选配置传感器 RENISHAW MCP探针
基恩士G30激光
欧姆龙SW-S7000
国产垂直白光
软件 inspec (SD)