项目 配置参数或者品牌型号
主体框架(机架+大理石等) 山东高唐
控制器 AT420
光栅尺 金属光栅尺0.5UM
电机+驱动器 X 禾川100W
Y禾川100W
Z禾川100W带刹车
导轨 GV6
相机 数字130万,选配200万
镜头 PMS手动(选配自动)
光源(环光+底光) 3环8区(选配5环8区,40相)
光源控制器 AT420自带有协议
其他可选配置传感器 RENISHAW MCP探针
基恩士G30激光
欧姆龙SW-S7000
国产垂直白光
软件 inspec (SD)