报价清单 项目 配置参数或者品牌型号
主体框架(机架+大理石工作台) 济南青和非洲黑
控制器 AT420
光栅尺 RUS金属光栅尺0.5UM
电机+驱动器 X禾川400W
Y禾川400W
Z禾川400W
导轨 台湾上银P级
相机 (130万选配200万)
镜头 PMS手动选配自动
光源(环光+底光) 5环8区,40相
光源控制器 AT420自带
其他可选配置传感器 RENISHAWMCP探针
基恩士G30激光
欧姆龙SW-S7000
国产垂直白光
软件 inspec(SD)